液晶制造裝置用精密XYθ平臺
規格
行程:690×1, 550mm
尺寸:1,600×1,660mm
定位時間:400msec
最高速度:500mm/sec
真直度(垂直/水平)
X軸:±1.2μm、 ±1.13μm
Y軸: ±2μm、 ±0.63μm
速度穩定性:±0.1%(35mm/sec時)
采樣周波數:100Hz
東莞市智贏智能裝備有限公司是一家專注于智能裝備的設計、研發、生產、銷售及服務的高新科技企業。公司坐落于廣東省東莞市高盛科技園(國家級科技企業孵化器),以工業機器人、直線電機、DD馬達(力矩電機)、精密平臺為主導產品,產品廣泛應用于微精密激光加工設備、精密測量儀器、液晶面板設備、電子半導體設備、醫療器械等需要精密控制及定位的領域。
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