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SR8220
采用2ARM構造增大了搬運范圍
實現了晶圓的高速傳輸和雙片同取放
確保了超高的直線精度
ARM和Z軸的各種組合以滿足應對各種裝置的需求
可同時適應于2~8英寸包括12英寸的晶圓搬送
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